“沈总,”徐端仪开口介绍着整个团队的历程:“从一开始成立光刻机这个项目,只是因为国家认为有这个需要,所以以我为首,召集了一群人过来。
起初的时候确实是意气风发,人才有上面安排,资金有上面提供,可这好景不长,过了整整一两年,交不出一点研发成果,那就开始有人跑了,划下来的钱也少了。
再过个三年,划拨的资金就只有原来的一半,有的时候经济不好,甚至划不下来经费。从十年前都是紧巴巴地过日子,一直到去年,终于埋头干出了一台自动分布投影光刻机,又遇上了沈总你,以为终于熬到头了,好日子来了,没想到才高兴了不到几个月,就又打回原形。
准确来说现在是比以前更惨,前期已经投入了这么多成本准备量产第三代光刻机,现在材料技术都只能荒在这里。别说养活整个团队了,能招得起一个助理也已经不错了。”
沈岳山听着徐端仪的诉苦,突然就理解为何对方一下憔悴了这么多。
“但我们还是感谢沈总的,”徐端仪补充着:“明明您是可以直接购买进口货,不用管我们这种小团队的死活,但在救活国产光刻机这件事上,却比我们还要坚持。”
沈岳山没回话,右手手指抵在下巴上,开始在实验室里来回踱步。
没人知道他这是要干什么,直到沈岳山走了足足五六分钟,才突然停在两人面前,开口道:“如果我资金入股徐教授的团队,不知两位能否接受?”
这是两人未曾想过的,一支将死的小团队,一款没有前途的产品,面临的是群雄争霸的险恶市场,竟然还会有人觉得值得入股?
“沈总,你这是……”王大忠以为对方在开玩笑,但看着对方的眼神,显然这是深思熟虑过的。
“你们需要资金,我们需要稳定的光刻机供货机构,而且两位之前已经和我合作过,过程相当愉快。”
“但是我们没技术啊。”徐端仪说着,他受过沈岳山不少帮助,不想让对方投资了自己,就像买了个没一点用处的拖油瓶。
“技术是靠积累过来的。”沈岳山说道:“只有多投入多研发,才有可能获得。”
“但我们已经没机会了。”徐端仪要的是一种能够拯救团队的方式,而不是一笔只能让自己苟延残喘的资金。
如果没有方向,没有路子,没有胜利的可能,那投入再多的钱都是浪费。
沈岳山想了想,突然开口道:“我有点思路。”
“思路?关于什么的思路?”王大忠问道。
“关于光刻机发展的思路。”
这倒让两人觉得神了,这个商人是有点技术基础,可他在当下全世界都在钻研的光刻机发展路径上面,竟然也有想法吗?
“徐教授,你给我介绍下,之前说的光刻机发展路径,目前来看一般有哪几条路子?”
徐端仪不明所以,但既然对方问了,他也如实告知:“现在纵观全世界,光刻机的发展有三条路线,一种是直接上euv光刻机,也就是用短波紫外线来进行光刻,波长在13.5nm,如果能够实现,一定是当前技术范围里最先进的光刻方式。”
沈岳山对euv光刻机有很深的印象,因为上一世2020年后,euv光刻机的禁售就是对华的遏制方式之一。
这也就表明,euv光刻机照目前的技术是不能研发出来的,起码还有二十年,这项技术才可能面世,这不会是现在应该主攻的方向。
“那后面两种呢?”
徐端仪也有点担心沈岳山听不懂,但既然对方问了,他便继续答道:“剩下的两种,都是在当前性价比最高的duv深紫外光刻技术的193纳米光源上做文章。193纳米已经近乎到达了目前人类认知的极限,光刻机领域卡在这里已经二十年都无法再进一步。
现在在尝试研究的,一种是霓虹国在研究的157纳米,利用氟气准分子激光发出波长157纳米附近的真空紫外光;另一种是一位华人教授提出的,在保持193纳米光源的基础上,将光线与晶体的介质从空气变成水,通过水1.44的折射率,将193纳米的光波折射成134纳米的波长。”
徐端仪说到这,抬头看了眼沈岳山,确定他这时候还听得懂。
起码王大忠已经懵了,他的专业不在这个方向,技术储备只足够他听得懂大概,这种牵涉到前沿研究的领域,已经超过了他的认知范畴。
“沈总?”徐端仪轻轻唤了声,确保一直沉默的沈岳山脑子还在线。
但是没有回应,过了好一阵,徐端仪又唤了声:“沈先生?”
这会儿沈岳山从思绪里反应过来了,他本来想凭记忆回忆起重生前三十年光刻机的技术发展路径,但显然是白费力气。
当重新把思绪琢磨着徐端仪说的那番话时,他反应过来了。
“确实没有第四种路径了对吧?”
“没了。”徐端仪很是确认地摇摇头,打趣道:“光这三种假设已经耗费了全球物理学界众多精英的脑细胞,还要再想出第四种可能估计能逼疯不少人。”
“那你说的157纳米哪个技术路线,叫什么来着?”沈岳山急忙问道。
“叫干法刻蚀。”徐端仪快速回答。
“确定这个干法刻蚀是霓虹国在研究的对吧?”
“对,主要是尼康,这是他们主攻的方向。”徐端仪确认道。
沈岳山猛一拍手掌,高声道:“行了,那就走第三条路线吧!就是哪个华人教授提出来的中间加水那条,这条路一定能成功!我说的!”