徐端仪心里有几分感慨，如此看重自己光刻机的，这叫沈岳山的年轻人还是头一个。
当初他想尽办法实现在半导体晶片上直接光刻集成电路的方案，带着这个研发团队，花费了整整五年的时间，才完成了国内第一台自动对准分步投影光刻机的研发。
随后是漫长的试验、调试、改良，在经过反反复复的修正后，这款华夏最为先进的光刻机终于得以正式投入生产。
可是，这款费尽心血所研发的、凝聚了国内众多高精尖科学技术的设备，虽已面世，但却反响平平。
没人懂它的意义！
世人理解不了这台设备是具有怎样划时代的意义，也没有半导体市场需要用到这么一台制程相对先进的设备，至于“芯片”这种东西，在九十年代甚至还不入媒体的法眼。
结果也是可想而知，这么一台汇聚了全国的技术的设备，能真正产生应用的却只有三台。一台留在水木大学的微细工程研究所用于实验研究；另外两台，则分别提供给中科院109厂和京城半导体器件厂，进行试用并量产芯片。
这些应用，主要也是以科研为主要目的。要说创造商业上的价值，在产业发展上发挥这台光刻机的贡献，并没有。
至于说要真正把这代光刻机用于芯片商业投产的，华晶是头一家。
有这个心思的只有华晶，能真正用得上如此先进设备的，也只有华晶。
“沈总，也不是我自吹自擂，”徐端仪怀着几分感慨，带着沈岳山来到这台光刻机前，“这款新型光刻机的设计标准，立项之初，就瞄准了当时国际的最高水平！可光刻的芯片最大面积为10x10平方毫米，实际有效分辨率为1.25微米，工作台行程160x160毫米，可加工4-6英寸的晶片。”
这台设备长近三米，宽有两米，如一般成年人那么高，里面含有多个部件，包括曝光区域、棱镜系统、机械运动系统、操控系统等。
里面随随便便的一个配件，可能便是价值上万。
徐端仪轻轻摩挲着这台光刻机，说道：“虽然我们研制成功，比国外先进企业晚了好几年。但他们是集结了几个国家的科技力量研发而成的，我们的却是在面对封锁的前提下自行研发出来的。每一个部件，每一样技术，靠的都是国人的智慧。”
“这么说，”沈岳山问道：“这代光刻机和国外的差距并不大？”
“最多最多，也就只有半代的差距。说得再严谨点，大家其实都是同一代的水平，可以说没有差距。只是霓虹国已经正式开始往第四代光刻机攻克，他们可能略微领先于我们。但是在商业应用上，要的都是成熟稳定的光刻机，我们研制的这台并不比国外的差多少！”
“那我们的第四代光刻机呢？研发到什么阶段了？”
提到这，徐端仪苦笑一声，“现在是半中止的状态。”
“中止？”沈岳山追问，“为什么？”
“现在国门打开，各种思想都在交汇。像光刻机这种吃力不讨好，耗费巨大研发费用，却几乎不能产生经济效益的项目，自然受到不少非议。在科技界里已经慢慢传出一种声音，‘造不如买，买不如租’。已经有不少的所谓专家都在质疑我们：与其自己费力造，不如想办法绕开封锁，看能不能从盟国那里进口。”
听着这话，沈岳山深有感触。
当初在深市的电子行业大会上，自己也正因此与高巧阳发生了激烈的争辩。
“没事徐教授，”沈岳山正色道：“这款设备，我们要买！”
“可是你们的设计图也只是半成品……”
“我们会想办法克服！”
要买一台光刻机，也并非像正常的商业买卖一般简单。
光刻机在国外是宝，在国内更是金疙瘩。
但只要确定了这台光刻机适用于华晶后续的生产，华晶就是非买不可。
沈岳山和两位老师留下了联系方式，便坐回南下的火车。
人刚回到华晶，便被张如京和阮教授的人围在中间。
“沈总，怎么了？能找到吗？”
“找到不是关键，问题在是否适用我们的生产。”
“还有价钱多少？一台这种东西可是不便宜。”
“即使有，我们能买吗？听说申购流程也是复杂得很！”
沈岳山没回众人的问题，而是拿出自动对准分步投影光刻机的相关资料，一一发给众人。
现场顿时安静了，这些都是行业内的人，刷刷地翻起手中的资料图，沉声看了起来。
张如京是第一个发出声音的，他惊讶道：“自动对准分步投影光刻机……大陆已经有能力造出第三代的光刻机了？！”
“第三代是指什么意思？”八壹中文網
“光刻机发展，到目前为止一共有三代。第一代是接触式曝光，掩膜板直接与光刻胶层接触；第二代是接近式曝光，掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙；第三代是投影式曝光，在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。”
张如京见部分人听得云里雾里，解释道：“简单点说，第三代光刻机是八十年代才开始出现并使用的，直至目前，这款光刻机仍然是最先进的一代。让我吃惊的是，大陆在面对封锁的情况下，却造得出来最新的这代，实属不易！”
“那确定是能生产我们的解码芯片吧？”阮教授问道。
这也是张如京团队下众人所关心的问题，毕竟他们每一个都不希望自己的设计图被拿去台积电做代工。
张如京高兴地晃了晃手中的光刻机资料图，说出四个字：“绰绰有余！”