光刻机联合研究中心。
苏远山是被郑振川一个期期艾艾的电话直接给叫到这边来的——在电话中,郑振川只是说光源小组和硅谷的林本坚团队出现了摩擦。 当时把苏远山吓得够呛,下楼抢了一辆自行车就往光源实验室赶去。 不过当听到所谓的摩擦后,他微微松了口气。 …… “意思是林本坚那边说,根据他的技术直觉,KBBF晶体无法用在DUV光源之上?”苏远山望向赵凯东问道。
赵凯东正在一根一根地抽着烟,点了点头:“是的,但国外已经出现了KBBF的倍频技术……我们这边也有所突破了。”苏远山抿了抿嘴,深深地皱起了眉。他知道,KBBF现在是可以出口的,而且国家甚至还大力提供……希望与国外共享技术。 “老林那边就一个直觉吗?”
“不是……是目前已有的光源来看,KBBF晶体不足以满足光刻机的持续、大功率激光输出。”
赵凯东望向苏远山:“但我们相信……大功率肯定是能的。”
苏远山轻轻叹了口气:“我当然也相信……” 苏远山知道,后世KBBF是一直没有用在光刻机上的——或者说,加个主流。当初他让赵凯东搞KBBF,也是怀着侥幸,希望能够从KBBF上完成突破,从而一举打破193纳米的桎梏,再加上浸润式,到时候就能很轻易地靠着DUV就下探到5nm制程之下。 现在被林本坚这个光学大师级人物直接反对了,苏远山一时半会还真不知道怎么判断了。 不过有一点他是相信的,就是KBBF的技术肯定有用——大功率激光器了解一下。 沉吟许久后,苏远山轻声道:“这样,老林那边的团队……因为投入有限,同时也要考虑到极端条件下的政策因素。所以我们不能把鸡蛋放在一个篮子里,这边还是用两条腿走路的形式。”
“马上校招季到了,远芯这边也招一批搞光学的研究生进远芯,你们也往上面申请一下。”
赵凯东也轻轻叹了口气。 他作为搞技术的,当然是看到技术,看到困难就要突破。但也他知道苏远山为难,如果搞到最后KBBF真不能用在光刻机上,那苏远山投入的钱可就真打水漂了…… 远芯怎么说都是个企业,在明确有大佬提出此路不通的时候再硬着头皮冲,而不是谨慎一点,这可不是搞企业的好习惯。 “行,那我们两条腿走路。”
“嗯,那就拜托赵叔了。”
苏远山说着又回头对郑振川道:“郑叔,你们这边情况如何?”
“我们这边挺好,订购的零部件都已经通过了,估计三个月内就能完全到齐。”
相比赵凯东,郑振川这边的心情要好许多,他这边设计的光刻机采用的是紫外光,理论上是可以搞定0.5微米制程的。
听到这里,苏远山心情也好了不少:“万里长征第一步出来了。”“嗯啊,这也才是第一步……我不求能达到量产质量,只求能稳定运行就行了。”
郑振川笑道。
远芯从成光所拖过来的光刻机,确实有点一言难尽。在经过不断的调试之后,它倒也能勉强完成它的使命——能够造出1微米制程的元器件了。 但也仅限于此,想靠它赚钱那是休想。 所以郑振川现在的要求就不高,能稳定就行,然后下一台开始争取上市,然后再下一台争取赶上主流。 离开办公室,苏远山看了下时间,实在没好意思跟林本坚通话,转而回到办公室,给林本坚那边发了一封邮件问一下情况。 第二天,林本坚回复邮件用了一大堆的技术和理论告诉他,KBBF是一种非线性的深紫外晶体,非常好……而且根据现有的技术,KBBF的条件尚不能满足光刻机的需求。今后怎么样不知道,但现在未必是最适合光刻机的光源。 于是苏远山只好告诉他,让他按照自己的思维搞下去。 (根据ASML的工程师回复,KBBF确实和光刻机光源不搭。其实写这段主要还是想要严谨一点……) …… 五月很快过去。 在这一个月中,段勇平开始正式主导远芯手机的推广,而且还是那种看似风平浪静,实际上却是暗潮汹涌的推进。 他首先申请了Vidoo商标品牌,紧接着又邀请了正当红的国际影星施瓦辛格对手机进行代言——这些都是先一步的行动。 要知道,现在Vidoo还刚刚完成定版,连工程机都还没有能够出来呢。 与此同时,他也一直都在厂里盯着,并且和他带过来的技术员解决了不少生产上的问题,使得生产线的效率得以提升。 可以说,这人真的是个人才了。 然后,等了许久的苏星河教授终于等到了来自首都的邀请。 中科院已经正式得到国W院批准,将成立新的国家工程院,而苏星河教授,则是唯一一名首批“新”院士。 在这里需要说明一点,在后世,有人普遍认为中科院比工程院要高级……如果单纯地从成立的日期来看,确实是这样。但实际上,中科院的入选规则因为过于严苛,因此对于在工程方面有着巨大贡献的工程师们特别的不公平。 在这种情况下,中科院一帮有志之士从80年代末就一直在奔走,希望成立一个工程院,工程院院士主要以工程师为主。 算得上一种奖励的性质吧。 并且,为了不至于让人觉得工程院的“档次”低,工程院的第一批院士有相当一部分来自科学院的大佬! 于是这才有了一开始的三十名“两院院士”,他们身兼科学院和工程院双院士,并不是为了“多一份荣耀”,完全是为了建立起工程院的“逼格”。 而苏星河教授,能够进入第一批这开天辟地一般的工程院院士之中,这表示了……他其实有资格进入科学院的。 但因为他的专业是集成电路方向,所以,就“剥夺”了他中科院院士的“荣耀”,给了他第一批工程院院士的荣光。 对于苏星河来说,能够与如此多的前辈,乃至偶像并列,他已经很满足了。 苏远山也很满足…… 不过,苏远山也有一个小小的愿望…… 他也想成为院士。