光刻机研发这么多年,理论体系大家都清楚,但能否用技术实现出来却至关重要。 徐磊虽然率先解决了光源系统,能够达到很高的分辨率以及使用寿命。 可配制光刻胶却比较棘手。 霓虹国能为海外光刻机公司提供高端光刻胶,很大程度上是借助了自身在特殊材料领域的发展。 国内由于此行业底蕴较为薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊从零开始研发,这在效率速度上自然会慢上很多。 况且要保证在晶圆上蚀刻出3纳米甚至1纳米的芯片电路,对光刻胶的要求也就更高,起码品级要超出海外高端光刻机所使用的光刻胶,否则若最后和制作出来的顶级光刻机不配套,那就成了宝剑配上一个烂木鞘,怎么看会怎么别扭。 至于物镜系统的研发,进度则就明显快多了。 海外高端光刻机所使用的镜头,基本来自徳国公司。 且镜头上的每一块镜片均采用人工打磨的方式,确保镜片没有任何瑕疵。 华科院内尽管找不到这种程度的工匠,但依靠星瞳的强大智能运算能力和徐磊的把控,最后打磨出来的镜片倒也能够满足顶级光刻机的需求。 于是在这种情况下。 最后当光刻机各部件成功完成组装,可以进行测试的时候。 仅剩下光刻胶仍旧没有解决。 这使得其他人也只能耐心等待,相信徐磊可以配制出顶级的光刻胶。 但由于先前华科院已经放出风去,表示春节前后就能让国产光刻机投入使用。 所以眼看着时间一天天流逝,大家的心情也开始紧张起来。 尤其是院长杨森平。 几乎都快把自己的办公室搬到实验室来了。 大部分时间都待在项目研究中心。 当然。 他除了是关心项目进度外,更重要的还是想保证这边的新项目研究组不出现差池,省的到时候造成严重影响。 再对他先前负责的项目组成员筛查后,发现其中一名人员和海外势力存在特殊联系。 并在调查后确定正是对方把项目组解散的消息传了出去。 对此杨森平虽然按照规定进行了严肃处理,但也不想看到徐磊负责的这个新项目组出现类似情况,所以相比刚开始那几天后面他到实验室来的频率明显增加。 很快,时间来到一月下旬。 当未来科技公司都已经正常放年假的时候,华科院光刻机项目研究组的所有成员仍旧坚守在工作岗位上。 只是相比上个月的信心满满,此刻大多数人脸上都流露着急迫的神情。 “杨院长,现在距离春节可没几天了。”
“但光刻胶的问题依旧没有解决,再这样下去等到时候肯定会在网上引起不小的节奏风波。”
这天上午。 化学实验室外面。 随着一位科研人员当着杨森平的面讲出这句话,顿时便让众人打开了话匣子,说着自己此时心里的想法。 “既然已经对民众做出了保证,那无论如何都必须做到。”
“上次发布的公告还是太激进了些,如果时间能在富裕些,我们眼下就无需考虑这个问题了。”
“我建议就使用目前配制出来的光刻胶,就算达不到顶级的品质,但足以生产出7纳米的芯片,这照样能让外界震惊。”
…… 徐磊虽说暂时未配制出自己想要的光刻胶,但这段时间的研究也并非全无成果。 最新配制出来的光刻胶,可以说已经达到了海外光刻机所使用的标准。 若就这样使用在国产光刻机上,照样会引起全球的震惊,并且也能为先前发布的公告画上一个圆满句号。 不过徐磊从最开始的目标就是将博物馆中收藏的那台顶级光刻机复刻出来,若单因为一项光刻胶就让其效果大打折扣,这是他没有办法接受的。 所以哪怕临近春节,依旧让自己泡在实验室里。 杨森平把众人的话听在耳朵里,心中也是显得非常纠结。 不知道该如何去处理此事。 但单从私心来讲,他还是更倾向于维护院里的名声。 反正先把现阶段的研究成果对外公布,再继续配制顶级光刻胶,似乎看上去也没啥太大问题。 不过最终经过仔细权衡后,杨森平并没有直接做出决定,而是把目光投向了旁边的郝耀平,想要询问下他的意见。 毕竟郝耀平作为项目研究组资格最老的院士,很多人甚至都是他的学生。 在某些地方说话比院长还好使。 “郝老对这件事怎么看,我们需要在这种局面下对外公布现阶段的研究成果吗?”
原本安静坐在旁边听着众人争论的郝耀平,看到杨森平把话题牵扯到自己身上后,也只得清了清嗓子讲上几句。 “我们能组装出这台顶级光刻机,且各项技术均远超海外公司,其中绝大部分可都是人家徐磊的功劳。”
“没有他别说是对外公布,恐怕在研究几年也休想取得效果。”
伴随郝耀平的声音在众人耳旁响起,大家也不免老脸一红,但却不敢有任何异议。 谁让事实就是如此。 郝耀平将众人的表现看在眼里,稍微停顿数秒便又接着讲道:“既然徐工有把握配制出适用于顶级光刻机的光刻胶,那我们就应该全力支持。”
“直到光刻胶出来为止。”
“至于外面的议论,咱们科研工作者需要在意这些吗?”
当郝耀平的话音落下,杨森平顿时明白这件事已经给出定论了,于是连忙趁着气氛当场宣布道:“郝老说的不错,徐工负责整个项目研究组的事情,只要他没有这个打算那我们就耐心等这款光刻胶被配制出来。”
“届时我们在芯片制造上的技术,也将远远超过海外公司。”
话说到这里,其他人自然不会再进行议论,并且随后也纷纷返回自己的工作岗位对光刻机各部件进行新的测试优化。 确保等光刻胶出来,进行实际测试的时候不会出现特殊情况。 而不得不说,项目研究组成员的担心很有道理的。 尽管距离春节还有几天时间,但不知道是不是放假比较闲的缘故,很多网友都自发到华科院官方账号下面催促。 到后面更是每天登上两个热搜,简直都快成日常保留节目了。 至于行业内的专业人士公司,虽说没有像网友那样采用这种方式追问,但对此同样非常关注。 想知道国产光刻机究竟达到了何种水准。 主要这关系到相关行业的发展。 越早知道具体情况,便能越早布局,有利于后续的发展。 但影响较大的,还是海外媒体对此事的放大化报道,内容信誓旦旦的指出华科院根本不可能研发出高端光刻机。 加上面对这么大的外界压力,华科院没有做出任何回应,无形中又增加了众人的怀疑。 全网各大平台网站上,凡是相关内容下面都能看到激烈的热议。 “我这次可能真是要失望了,看来国产光刻机的研发的确还有很长的路要走。”
“技术落后倒是没什么,关键故意放出这种消息就没有必要了,除了让大家体验到巨大的落差感没有任何作用。”
“还有几天就是春节了,请问光刻机在哪里呢?”
“大家还是洗洗继续睡吧,哪有什么光刻机,全都在做梦而已。”
“想不通有必要这么着急吗,人家说的明明是春节前后,现在质疑什么。”
“后十几年也算后,玩文字游戏没啥用。”
“当你们还在为此争议质疑的时候,聪明人已经全部梭哈半导体行业基金了。”
“真尼玛狠人啊,都这种局面了还敢梭哈基金,我没记错相关行业已经连续跌几天了吧。”
…… 在众多的评论留言中,虽然有些愿意相信国产光刻机,可在海量的质疑声潮中翻不起任何浪花。 完全不起眼。 而相比外界的风起云涌,此刻徐磊则是两耳不闻窗外事,一心全在光刻胶。 “主体材料必须要尽量减少高吸收元素,引入特殊金属氧化物提高光刻的感光速度,增强体系抗蚀能力,降低光刻胶的膜厚,最终进一步提升分辨率。”
“这次应该没什么问题了。 “只要顺利完成,就能配制出和顶级光刻机相适合的光刻胶。”
2020年1月24日,周五。 除夕夜。 华科院化学实验室内。 此刻徐磊穿着实验操作服,站在工作台旁摆弄着上面的各种精密仪器。 虽说看不到其具体神情如何,但从口中低喃的声音来判断,他这次是胸有成竹。 随后在几名助手的配合下,特殊金属氧化物被引入体系材料中,并在设备的自动运作下,逐渐形成可以直接涂抹在晶圆片上的光刻胶。 不过究竟能否达到想要的效果,成功生产出3纳米规格的芯片,还需要拿到光刻机那边实际测试才行。 至于被称作物理极限的1纳米芯片,因为所需的特殊金属材料还未运送过来,所以暂时还无法生产。 但可以确定的是,这个春节大家虽然都没有回家,却肯定是几十年来最开心兴奋的一天。